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DVIM-G高级气动隔振器


 

DVIM系列提供比ISO气动隔振器更多的阻尼,它是一个用于线性X-Y平台的子系统,可以最大限度地减少振动,并在平台运动发生后稳定平台。 DVIM-G提供最快的有效载荷建立时间,主要的隔振性能和优异的阻尼性能。


主要的隔振
与竞争对手的气动隔振器不同,DVIM-G采用特殊的机械过滤系统,提供卓越的水平隔振。此外,DVIM-G具有无与伦比的垂直隔振性能,DVIM-G气动隔振器经过优化,可在重型和高速线性X-Y平台内提供最大的隔振性能。


两室和可变孔板
DVIM-G的双室系统包括一个气室和一个连接两个孔的阻尼室:一个位于室外的可变孔和一个位于室内的内孔。这些孔控制这些腔室之间的空气流动,这增加了阻尼效率并减少了沉降时间。当发生阶段运动时,气室产生恢复力,空气通过小孔流入阻尼室。这些孔消耗空气中的能量和扰动,导致系统阻尼,减少有效负载的建立时间。


创新的调平阀门,加快建立时间
我们的三个双向调平阀能够自动调节系统,提供多种阀门选择,从±0.5mm的重复性标准阀门到±0.05mm重复性的精确阀门。另外,在DVIM-G型隔振器上加装A.O.V阀,使沉降片在沉重的阶段运动后,通过控制气流在垂直和水平轴上快速沉降整个系统。


油阻尼器选项
当DVIM-G隔离器与外部油阻尼器一起使用时,X-Y线性级的运动被最小化,有效负载稳定时间减少,并且隔离器的刚度增加。


应用
线性阶段、半导体/ FPD制造检测系统、光学激光设备、OEM应用程序


规格
隔振:气动隔离
自然频率:垂直1.5-1.7Hz,水平:1.2-1.5Hz
隔振:10Hz时±95%
建立时间:±1.0秒
调平:自动调平
调平重复性:精密阀门:±0.05mm,标准阀门:±0.1mm
阻尼:可变孔板,内部孔板,双室系统,外部油阻尼器


性能


解决时间



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