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DVIM-M标准气动隔振器



DVIM系列提供了比ISO气动隔振器更多的阻尼,它是一个用于线性XY平台的子系统,可以最大限度地减少振动,并在平台运动发生后稳定平台。 DVIM-M以合理的价格提供快速的有效载荷设置时间,高隔振性能水平和阻尼。


卓越的隔振性能
DVIM-M在垂直和水平轴上都提供了高水平的隔振。 DVIM-M气动隔振器经过优化,可在重型和高速线性XY平台内提供最大的隔振性能。


创新的调平阀门,加快建立时间
我们的三个双向调平阀能够自动调节系统,提供多种阀门选择,从±0.5mm的重复性标准阀门到±0.05mm重复性的精确阀门。另外,在DVIM-M型隔振器上加装A.O.V阀,使沉降片在沉重的阶段运动后,通过控制气流,使垂直和水平轴上的整个系统迅速沉降。


油阻尼器选项
当内置油阻尼器使用DVIM-M隔离器时,XY线性平台的运动被最小化,有效负载稳定时间减少,隔离器的刚度增加。


应用
线性阶段、半导体/ FPD制造检测系统、光学激光设备、OEM应用程序


一般规格
隔振:气动隔离
自然频率:垂直:2.5〜2.8Hz,水平:2.7〜3.0Hz
隔振:10Hz时±90%
建立时间:±3.0秒
调平:自动调平
调平重复性:精密阀门:±0.05mm,标准阀门:±0.1mm
阻尼:内部孔板,外部或内置油阻尼器


性能和解决时间


 
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